摘要薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而我们也知道对于较小的光栅周期也就是当其更接近于光的波长时近似变得不准确。在本例中选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅通过比较结果我们研究了两种方法的表现建模任务光栅元件通用光栅组件General Grating Component允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到:• FMM/RCWA• Diffractive Lens Component正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)正弦光栅-传输相位形态正弦光栅-传输相位形态正弦光栅-衍射效率正弦光栅-效率vs. 周期正弦光栅—选定周期的相位形态闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA)闪耀光栅-传输相位形态闪耀光栅-衍射效率闪耀光栅-效率vs.周期闪耀光栅-选定周期相位形态VirtualLab Fusion技术文件信息